ivdon3@bk.ru
Изготовлена серия образцов нанокристаллических пленок оксида цинка методом реактивного магнетронного распыления при различных режимах, при подогреве до 200-250°С и последующем отжиге. Исследовано влияние относительной влажности в диапазоне 25-80% на сопротивление пленок оксида цинка. Установлен характер влияния режимов получения на электрическое сопротивление пленок при различных значениях относительной влажности. Определен оптимальный режим получения пленок оксида цинка методом магнетронного распыления для изготовления газовых сенсоров, при котором влияние относительной влажности на сопротивление минимально.
Ключевые слова: нанокристаллические пленки, оксид цинка, магнетронное распыление, электрическое сопротивление, относительная влажность
Представлены результаты исследований характеристик газочувствительности пленок оксида цинка, полученных методом высокочастотного реактивного магнетронного распыления. Выявлен ряд технологических параметров, влияющих на коэффициент газочувствительности, время реакции, время восстановления и тип электропроводности полученных пленок. Установленны оптимальные режимы магнетронного распыления оксида цинка для реализации газовых сенсоров (высокочастотное распыление мишени Zn в газовой смеси кислорода и аргона при концентрации кислорода 80%, давлении в камере 0,8 Па и мощности магнетронного разряда 100 Вт). Среднее время отклика таких сенсоров на NO2 составило 5-15 с. Полученные значения коэффициента газочувствительности находились в диапазоне 30-67% для концентраций NO2 от 20 до 100 ppm, СО и СО2 от 50 до 100 ppm и 81-97% для более высоких концентраций газов от 500 до 1000 ppm.
Ключевые слова: Нанотехнологии, магнетронное распыление, оксид цинка, тонкии пленки, газочувствительность
Сведения об авторах выпуска №4 ч.2 (2012)
Ключевые слова: авторы