ivdon3@bk.ru
В работе впервые с использованием современных аналитических методов изучен фазовый и примесный состав катодных сплавов Pd-Ba, полученных по промышленной технологии. Установлено, что концентрация вредных примесей (C, Zn, Ba, Cu) в объектах исследования не превышает установленные к данным материалам нормы. Методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа подтверждена обнаруженная ранее двухфазность сплавов Pd-Ba, из которых одна фаза - интерметаллическое соединение (Pd5Ba), вторая – палладий (матрица), причем интерметаллид очень неравномерно распределен в матрице. В объекте исследования впервые обнаружена нежелательная фаза Pd2О. Установлено, что в сплавах Pd-Ba зерна Pd – крупные (порядка одного мкм), зерна фазы Pd5Ba – от нескольких сотен нм до одного мкм. Во всех зернах наблюдается высокая плотность хаотически расположенных дислокаций. Предложены технологические приемы для улучшения однородности сплава.
Ключевые слова: металлосплавные катоды, Pd-Ba, эмиссионные свойства, просвечивающая электронная микроскопия, рентгенофазовый анализ, примесный состав, коэффициент вторичной электронной эмиссии
01.04.07 - Физика конденсированного состояния , 05.12.07 - Антенны, СВЧ устройства и их технологии , 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах
В работе впервые с использованием современных аналитических методов изучен фазовый и примесный состав катодных сплавов Pt-Ba, полученных по промышленной технологии. Установлено, что концентрация вредных примесей (C, Zn, Ba, Cu) в объектах исследования не превышает установленные к данным материалам нормы. Методами просвечивающей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа подтверждена обнаруженная ранее двухфазность сплавов Pt-Ba, из которых одна фаза - интерметаллическое соединение (Pt5Ba), вторая – платина (матрица), причем интерметаллид очень неравномерно распределен в матрице. Установлено, что в сплавах Pt-Ba зерна Pt – мелкие (в несколько сотен нм), а зерна Pt5Ba – крупные (составляют несколько мкм) и более совершенные. Внутри зерен Pt5Ba имеются напряжения. Предложены технологические приемы для улучшения однородности сплава.
Ключевые слова: металлосплавные катоды, Pt-Ba, эмиссионные свойства, просвечивающая электронная микроскопия, рентгенофазовый анализ, примесный состав, коэффициент вторичной электронной эмиссии
01.04.07 - Физика конденсированного состояния , 05.12.07 - Антенны, СВЧ устройства и их технологии , 05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах